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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:高速大口徑干式真空泵KASHIYAMA樫山

  • 產(chǎn)品型號:SDL20E50
  • 產(chǎn)品廠商:日本KASHIYAMA樫山
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
SDL 系列,大功率高速排氣,可滿足超過15萬L/min的需求。
詳情介紹:


SDL系列

KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設備。排氣組合式真空泵設備則在其他領域得到廣泛應用。

支持放大晶圓和FPD

通過組合可以實現(xiàn)大排量。 我們將回應超過150,000升/分鐘的要求。

更短的節(jié)拍時間

通過確保大氣側(cè)排氣速度,高速抽空大型負載鎖定室



1,充分應對晶片F(xiàn)PD的大口徑化通過組合

可實現(xiàn)大排氣量化??蓾M足超過15萬L/min的要求。

2,由于高速排氣縮短節(jié)拍時間,通過確保大氣側(cè)排氣速度
通過大型負載鎖定室的高速排氣,縮短節(jié)拍時間。



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