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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本KASHIYAMA樫山側(cè)排氣真空泵

  • 產(chǎn)品型號(hào):SDL3600
  • 產(chǎn)品廠商:日本KASHIYAMA樫山
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
SDL 系列,大功率高速排氣,可滿足超過(guò)15萬(wàn)L/min的需求。
詳情介紹:


SDL系列

KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。排氣組合式真空泵設(shè)備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

支持放大晶圓和FPD

通過(guò)組合可以實(shí)現(xiàn)大排量。 我們將回應(yīng)超過(guò)150,000升/分鐘的要求。

更短的節(jié)拍時(shí)間

通過(guò)確保大氣側(cè)排氣速度,高速抽空大型負(fù)載鎖定室



1,充分應(yīng)對(duì)晶片F(xiàn)PD的大口徑化通過(guò)組合

可實(shí)現(xiàn)大排氣量化??蓾M足超過(guò)15萬(wàn)L/min的要求。

2,由于高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間,通過(guò)確保大氣側(cè)排氣速度
通過(guò)大型負(fù)載鎖定室的高速排氣,縮短節(jié)拍時(shí)間。



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